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半导体单晶炉国产化现状分析

2022-03

反映出国内半导体设备国产化取得实质性进展。

单晶炉国产化现状

在半导体硅片生产流程中,拉晶步骤是保证硅片质量的关键,在该环节需要用到单晶炉设备。

单晶炉由炉体、热场、磁场、控制装置等部件组成,硅料经过提炼提纯成为高纯度的多晶硅后,需在单晶炉中得到单晶硅棒,其中控制炉内温度的热场和控制晶体生长形状的磁场是决定单晶炉生产能力的关键。

据了解,将多晶硅拉制成单晶硅主要有直拉法和区熔法两种工艺,其中区熔法主要用于生产功率器件硅片,但目前大部分半导体硅片使用直拉法生产。